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一、半導(dǎo)體制造業(yè)面臨的問題
作為高端制造行業(yè)，半導(dǎo)體制造行業(yè)使用了大量高精密儀器生產(chǎn)設(shè)備。這些生產(chǎn)設(shè)備均需在在無塵環(huán)境7*24小時全天候運行，具有復(fù)雜的機械特性。機臺通過配備的工控機來控制上百道的復(fù)雜生產(chǎn)工序，同時檢測設(shè)備的操作和運轉(zhuǎn)狀態(tài)，并進行機臺數(shù)據(jù)的收集、分析與審計。這些生產(chǎn)設(shè)備通常由多個廠商提供，不同用途，種類繁多，具有不同的接口和操作系統(tǒng)，對于設(shè)備維護人員無形中也增加了維護難度。
在日常的生產(chǎn)過程中，需要大量的機臺管理或維護人員必須要在各廠房內(nèi)來回巡視，若看到機臺異常信號，便需要在現(xiàn)場判別錯誤原因、再執(zhí)行修復(fù)。若需要進到無塵廠房處理異常告警設(shè)備，還必須穿戴無塵隔離裝備。這樣不僅造成了人員的浪費、故障處理時間的浪費，生產(chǎn)效率也明顯降低；而且有些無塵隔離裝備是一次性或需要用完后清洗，這樣也造成了人力與物力上的資源浪費。
二、RCM機臺遠程控制管理系統(tǒng)的原理及用途
RCM（Remote Control Management）機臺遠程控制管理系統(tǒng)（以下簡稱RCM系統(tǒng)），它通過網(wǎng)絡(luò)技術(shù)實現(xiàn)對遠程設(shè)備的監(jiān)控、操作和管理。將制造業(yè)的機臺工控機鍵盤、屏幕、鼠標(biāo)信號接入RCM硬件后，利用先進的網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、圖像識別技術(shù)和自動化技術(shù)，實現(xiàn)對制造業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的遠程監(jiān)控、操作和管理，極大地提高了生產(chǎn)效率和設(shè)備利用率。同時，可利用OCR（光學(xué)字符識別）屏幕圖像識別技術(shù)、RPA（機器人流程自動化）技術(shù)，實現(xiàn)設(shè)備的自動操作和異常處理；實時監(jiān)控生產(chǎn)設(shè)備的運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理故障，確保生產(chǎn)的順利進行，大大提升生產(chǎn)效率、設(shè)備綜合效率，降低產(chǎn)品不良率。
RCM遠程設(shè)備控制技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用場景，涵蓋了半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)自動化、柔性化制造單元自動化控制、遠程設(shè)備監(jiān)控與管理、航運業(yè)遠程集裝箱管理以及工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)與智能制造等領(lǐng)域。通過應(yīng)用RCM技術(shù)，企業(yè)可以實現(xiàn)設(shè)備的遠程監(jiān)控、操作和管理，提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本、提升智能化水平。
三、鴻通RCM系統(tǒng)半導(dǎo)體制造業(yè)解決方案
采用鴻通RCM系統(tǒng)，既可以在廠房無塵室內(nèi)提供制程工程師、機臺作業(yè)員及設(shè)備工程師半導(dǎo)體設(shè)備的本地端訪問，也可以為無塵室外的經(jīng)理、工程師、技術(shù)員或監(jiān)管員提供可控制的遠程訪問。只要網(wǎng)絡(luò)可達，無論是有線網(wǎng)絡(luò)還是WIFI，無論是在無塵室內(nèi)還是外，無論是PC還是PAD均可對數(shù)以千計的半導(dǎo)體機臺設(shè)備進行訪問和控制。
鴻通 RCM系統(tǒng)對于機臺的種類，使用年限，操作系統(tǒng)均無限制，只要機臺具有顯示器、鍵盤、鼠標(biāo)接口，就可實現(xiàn)本地連接和遠程控制。
將RCM設(shè)置為分配器模式，機臺開電本地控制臺即可進入系統(tǒng)界面，不改變本地訪問模式。用戶訪問必須進行身份認證，通過權(quán)限設(shè)置，以確定哪些設(shè)備可進行訪問，以及是否讓用戶完全控制、共享訪問或只讀訪問，甚至可以靈活配置遠程或本地人員的控制優(yōu)先級別，例如在本地人員執(zhí)行維護時選擇禁止遠程控制，或遠程人員遠程維護時禁止本地操作。
在集中管理模式下，無論本地端還是遠程用戶均采用集中認證方式，對用戶和設(shè) 備進行集中管理，設(shè)備和用戶統(tǒng)一分配授權(quán)，支持用戶權(quán)限無限制分級、分組管理；不同的用戶只能看到并且操控自己具有權(quán)限的受控設(shè)備。實現(xiàn)數(shù)據(jù)加密傳輸和雙向證書認證并通過單一IP地址、單一端口號對機房設(shè)備進行全面管理，提供更高安全控制。可以實現(xiàn)操控過程的實時屏幕錄像，便于事后審計。
經(jīng)統(tǒng)計高達30%~40%的機臺錯誤，都可歸類為常態(tài)性錯誤，僅需按一個鍵或重啟程序等簡單動作就能恢復(fù)正常，因此半導(dǎo)體制造商也可以通過標(biāo)準(zhǔn)的VNC協(xié)議和工廠自動化系統(tǒng)集成，在發(fā)生狀況時遠程自動執(zhí)行除錯命令修復(fù)，不再需要人為介入，以節(jié)省人力資源和提高故障處理能力，從而提高生產(chǎn)效率。
四、方案實現(xiàn)
拓撲圖
通過EasyLINKPro RCM和ES5000 RCM集中管理軟件，整合機臺本地訪問，提供對機臺的遠程管理能力。
方案特點：
1. 利用RCM設(shè)備進行遠程管理及維護。
2. 適應(yīng)面廣，不受設(shè)備種類限制，無需改變機臺原有操作模式。只要機臺具有顯示、鍵盤、鼠標(biāo)接口，即可利用鴻通RCM增加遠程管理能力。
3. 不需要在機臺控制器內(nèi)安裝任何軟件或硬件。
4. 可自定本地訪問優(yōu)先或遠程優(yōu)先，本地與遠程互不干擾。
5. 具有完備的數(shù)據(jù)傳輸加密和安全性，整合用戶、設(shè)備權(quán)限管理，做到人員僅管理有權(quán)的設(shè)備。
6. 支持WIFI無線，省去布線繁瑣。
方案優(yōu)勢：
1. 降低成本：利用RCM對生產(chǎn)區(qū)域進行集中管理，少數(shù)人員即可管理多數(shù)機臺，可有效降低人員成本。
2. 提升工作效率：經(jīng)調(diào)查大多數(shù)情況下機臺常態(tài)問題僅需少量操作即可恢復(fù)，利用遠程可實時解決機臺問題，無需進入生產(chǎn)區(qū)域，省去到達現(xiàn)場、穿脫無塵服等時間。
3. 多屏實時監(jiān)控：監(jiān)控中心通過大屏幕實現(xiàn)多屏畫面分割，對各站點被控設(shè)備進行實時監(jiān)控
4.二次開發(fā)：經(jīng)調(diào)查大多數(shù)情況下機臺常態(tài)問題僅需少量操作即可恢復(fù)：用戶的自動控制服務(wù)通過鴻通API，由RCM獲取機臺界面圖像，并用對圖像進行分析，獲得機臺當(dāng)前工作狀態(tài)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)機臺故障時，由自動控制服務(wù)通過API，操作RCM向機臺發(fā)送鍵盤、鼠標(biāo)等控制信號，自動解決機臺故障。
